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光機(jī)產(chǎn)品

產(chǎn)品圖片
產(chǎn)品名稱: 西格瑪精密平臺(壓電陶瓷)
產(chǎn)品型號: SFS-H
產(chǎn)品品牌: 西格瑪光機(jī)
備注:
產(chǎn)品特性:

?采用了獨(dú)特的數(shù)字位移傳感器,可實(shí)現(xiàn)高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺。
?采用壓電陶瓷作為驅(qū)動機(jī)構(gòu),環(huán)控制時的行程為90μm?100μm,理論分辨率達(dá)1nm。和開環(huán)控制相比,閉環(huán)控制時的最大行程會少10%左右。
?位置檢測采用了數(shù)字位移傳感器(頻率→數(shù)字變換方式的微小位移傳感器),閉環(huán)控制時的顯示分辨率為10nm。
?使用FINE系列控制器,可實(shí)現(xiàn)高速定位。
?重復(fù)驅(qū)動SFS-H(直動)系列平臺,可達(dá)10?15Hz的頻率。使用FINE-01γ的模擬信號驅(qū)動時,可達(dá)25Hz。


注意事項(xiàng):

?在閉環(huán)控制時,平臺的行程與開環(huán)控制時相比會減少20%左右。


產(chǎn)品鏈接:/filespath/files/20170108110947.pdf
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