?采用了獨(dú)特的數(shù)字位移傳感器，可實(shí)現(xiàn)高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺。
?采用壓電陶瓷作為驅(qū)動機(jī)構(gòu)，環(huán)控制時的行程為90μm?100μm，理論分辨率達(dá)1nm。和開環(huán)控制相比，閉環(huán)控制時的最大行程會少10%左右。
?位置檢測采用了數(shù)字位移傳感器（頻率→數(shù)字變換方式的微小位移傳感器），閉環(huán)控制時的顯示分辨率為10nm。
?使用FINE系列控制器，可實(shí)現(xiàn)高速定位。
?重復(fù)驅(qū)動SFS-H（直動）系列平臺，可達(dá)10?15Hz的頻率。使用FINE-01γ的模擬信號驅(qū)動時，可達(dá)25Hz。
?在閉環(huán)控制時，平臺的行程與開環(huán)控制時相比會減少20%左右。
