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光機產品

產品圖片
產品名稱: 大行程納米定位平臺
產品型號: ECS
產品品牌: 西格瑪光機
備注:
產品特性:

?ESC系列平臺可被用于常溫和大氣壓環境,有些型號還可用于超高真空環境。
?ESC系列平臺采用了十字交叉滾柱導軌結構,其承載能力可高達數公斤,其俯仰,方位和轉動角度偏差小于0.1mrad。
?同時,其最大行程可達50mm,單步進給量可小至50nm。另外,可選配的用于閉環控制的傳感器的分辨率達1nm。attocube系列平臺備有多種形式,尺寸和行程。并可直接互相組合成多軸平臺。


產品鏈接:/filespath/files/20170108112221.pdf
箭頭
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